无油螺杆真空泵是一款采用干式螺杆技术的高性能真空获得设备。其核心工作原理是通过一对平行且同步反向旋转的螺杆转子，在泵壳内完成气体的吸入、压缩与排出全过程。本产品广泛应用于制药、化工、半导体、食品加工等对清洁真空有严格要求的领域，并支持按需定制防腐涂层及系统配置。

一、产品特点

真正无油洁净运行：工作腔内无需任何润滑油或密封液，转子与泵体间保持精密间隙，互不接触、无摩擦。被抽气体不含油质与粉尘污染，满足GMP等严苛洁净标准。转子与轴一体成型，经精细动平衡校正，运行平稳可靠。

优异的真空性能：单泵极限真空可达5Pa乃至1Pa级别，从大气压至极限真空全压力段可连续稳定运行，单台即可替代多级真空机组，极大简化真空系统。

变螺距可选，高效节能：相比传统等螺距设计，变螺距转子型线在压缩过程中逐级冷却气体，排气温度更低，能耗可降低30%以上，噪音更小。永磁变频机型可实现30%-100%线性调速，年节电效果显著。

良好的介质兼容性：直通气路设计使泵对可凝性蒸气（如水蒸气、有机溶剂）及微量粉尘具有良好通过性。泵腔及螺杆表面可提供镀镍、PTFE涂层、哈氏合金涂层等多种防腐方案，能耐受多种腐蚀性介质。

低噪运行：优化的转子型线与精密间隙控制，整机运行噪音水平显著优于传统真空泵。

二、产品优势

介质无污染，回收更便捷：工作腔无油无水，抽除的工艺气体纯净无掺混，便于溶剂回收和尾气处理，无环保压力。

维护成本低：结构简单，零部件少，拆装方便；泵腔具备在线自清洗功能，无需拆卸整泵即可清除污物。

运行费用经济：无需频繁更换油品或密封液，冷却水用量极小，综合运行成本远低于水环泵、油封泵。

安全可靠：杜绝水倒吸风险，对有物料与水反应的工艺体系安全性更高。

可组成无油机组：可与罗茨泵、分子泵串联组成全无油真空机组，进一步提升低压区抽速。

三、适用场景

化工与制药：适用于蒸馏、干燥、结晶、溶剂回收等工艺，防止有机溶剂污染，回收高附加值物料。

半导体与电子：用于刻蚀、化学气相沉积等对洁净度要求极高的制程。

食品与生物医药：用于冻干、真空包装、物料输送，确保产品不受油污污染。

真空镀膜：用于蒸发镀膜、磁控溅射镀膜等需要高洁净真空的工艺。

环保与粉末处理：用于废气回收、粉体气力输送、中央集尘系统，耐受含尘气体。

工业炉与冶金：用于真空钎焊、真空烧结、特种钢冶炼真空脱气等。